另外一種過濾系統，是通過帶有負電荷的表面來吸收微粒。與高效顆粒攔阻過濾器系統相比，它在捕獲小微米顆粒和清量空中煙霧方面更見成效。靜電過濾器中會產生微量的臭氧，可消除大多數的霉菌、霉、細菌和其他真菌。

利用其表面所帶的負電荷，生成大量的負離子，懸浮於空氣中吸附牆壁、地板和其他表層上的有害物質，多數靜電機能有效地解決呼吸的空間中粉塵和微粒問題。

常用於消毒功能。這種技術是通過接觸紫外線，在空氣中和物體表層有效殺毒。已經證明紫外線可在空氣和水中應用抑制細菌和病毒的活動能力，防止它們再生。

臭氧是一種非常強的氧化劑，它可消除異味、霉菌、霉、細菌和其他真菌。該技術廣泛用於水災和火災的修復。
臭氧的有效性基於其從問題源頭著手，且空氣無需經過裝置淨化。但由於臭氧是一種不穩定的物質，其濃度較難掌握，故使用時需十分小心處理。